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工藝?yán)鋮s系統(tǒng)Chiller在哪些行業(yè)表現(xiàn)突出?

 更新時(shí)間:2026-01-14 點(diǎn)擊量:45

  無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司工藝?yán)鋮s系統(tǒng)Chiller憑借其高精度、寬溫域、快速響應(yīng)和定制化能力,在多個(gè)對(duì)溫度控制要求嚴(yán)苛的行業(yè)中表現(xiàn)尤為突出。

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  一、半導(dǎo)體與集成電路制造(核心優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域)

  應(yīng)用場(chǎng)景:

  晶圓前道:光刻、刻蝕(Etch)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、離子注入、退火、CMP等;

  封裝測(cè)試:晶圓級(jí)封裝(WLP)、高溫老化(HTOL)、溫度循環(huán)測(cè)試(TCT);

  設(shè)備配套:為刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、激光退火系統(tǒng)提供ESC(靜電吸盤)溫控。

  突出表現(xiàn):

  控溫精度達(dá) ±0.01~ ±0.1℃;

  支持 -20~ +200 快速切換,滿足優(yōu)良制程熱管理需求;

  全密閉系統(tǒng)避免冷卻液污染環(huán)境;

  行業(yè)地位:國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體溫控設(shè)備供應(yīng)商之一,是國(guó)際品牌的替代選擇。

  二、新能源(鋰電 & 光伏 & 氫能)

  鋰電池制造:

  材料共沉淀反應(yīng)控溫(50~60℃恒溫);

  電池模組高低溫性能測(cè)試(-40~85℃);

  固態(tài)電池?zé)Y(jié)工藝中的程序升降溫控制。

  光伏與氫能:

  HJT異質(zhì)結(jié)電池PECVD腔體冷卻;

  質(zhì)子交換膜(PEM)電解槽熱管理;

  氫燃料電池板測(cè)試平臺(tái)溫控。

  優(yōu)勢(shì):

  高可靠性支持7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行;

  可選防爆機(jī)型,適配電解液、氫氣等危險(xiǎn)環(huán)境。

  三、生物醫(yī)藥與制藥工程

  典型應(yīng)用:

  高活性藥物(HPAPI)合成中的強(qiáng)放熱反應(yīng)控溫;

  凍干(Lyophilization)預(yù)冷階段;

  熔融結(jié)晶工藝(控制晶型與粒徑);

  生物反應(yīng)器夾套冷卻。

  合規(guī)性支持:

  提供兼容設(shè)計(jì);

  四、精細(xì)化工與新材料合成

  適用工藝:

  聚酰亞胺(PI)、環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯等聚合反應(yīng);

  連續(xù)流微反應(yīng)器溫控;

  納米材料水熱/溶劑熱合成;

  特種涂料固化過(guò)程控溫。

  技術(shù)亮點(diǎn):

  支持 200~300℃高溫導(dǎo)熱油循環(huán);

  全密閉系統(tǒng)防止高溫氧化,延長(zhǎng)介質(zhì)壽命;

  可集成緊急冷卻功能,應(yīng)對(duì)失控反應(yīng)。

  五、航空航天與裝備制造

  應(yīng)用場(chǎng)景:

  碳纖維復(fù)合材料熱壓罐輔助控溫;

  衛(wèi)星光學(xué)載荷熱真空試驗(yàn);

  高功率激光器(光纖/CO?)冷卻;

  發(fā)動(dòng)機(jī)部件熱疲勞測(cè)試。

  優(yōu)勢(shì):

  寬溫域(-120~300℃)覆蓋嚴(yán)苛工況;

  模塊化設(shè)計(jì)便于集成到大型測(cè)試臺(tái)架;

  支持多通道獨(dú)立控溫,模擬復(fù)雜熱場(chǎng)。

  六、科研與高校實(shí)驗(yàn)室

  典型用戶:

  各研究所高校;

  實(shí)驗(yàn)室(如微電子、量子信息、材料科學(xué))。

  設(shè)備特點(diǎn):

  噪音低,適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境;

  小型化機(jī)型桌面可用。

  工藝?yán)鋮s系統(tǒng)Chiller并非“通用冷水機(jī)",而是面向“高技術(shù)門檻、高附加值、高可靠性"場(chǎng)景的專業(yè)溫控解決方案提供商。如您所在行業(yè)有特定溫控挑戰(zhàn),冠亞通常能提供針對(duì)性


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